一、镀膜真空设备配套;
型号: H-150滑阀真空泵技术性能指标
极限真空: 1 pa(帕)
抽气速率 :150L/s(升/秒)
电机功率: 15kw(千瓦)
进气口径:150mm(毫米)
排气口径 :80mm(毫米)
1、高真空度,其中H系列真空度为1Pa,其中2H系列真空度6x10-2Pa;
2、 振动少,噪声低,轴承密封室单独供油,与泵腔隔开,避免了杂质进入轴承、密封过早损坏;
3、适用于抽吸空气及其他一般性气体,当使用气镇时,亦能抽吸含有掌上少量的可凝性气体(如水蒸汽);
4、可单独使用,也可作为扩散泵、油增压泵、罗茨泵等高真空泵的前级泵,相对于旋片式真空泵,H型滑阀泵比较耐用,使用寿命长; E: 该泵在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、人造石,分子蒸馏、航空模拟试验使用较多; 可应用于镀膜、电工、无尾真空机、电子、冶金、化工、陶瓷、航空、单晶硅、单晶炉、实验室等多种场合的真空镀膜、真空干燥、真空脱气、真空浸渍、石英石真空钎焊、真空热处理、真空浓缩、大理石、真空反应及高空模拟试验等真空作业场合。
二、镀膜真空设备配套;
ZJP-1200罗茨真空泵主要技术指标
型号
|
极限压力帕(Pa)
|
抽气速率
升/秒(L/S) |
最大允许压差
(HPa) |
进排气口径(mm)
|
配用功率
kw |
零流量最大
压缩比 |
重量
(Kg) |
||
配用双级油封
机械真空泵 |
配用单级油封
机械真空泵 |
进气
|
排气
|
||||||
ZJP-1200
|
≤2x10-2
|
≤1x10-1
|
1200
|
50
|
250
|
200
|
11
|
≥50
|
890
|
罗茨真空泵主要由一对同步高速旋转的“8”字形转子与两个半圆形的泵腔组成。该泵不能单独排气,必须与前级泵(如滑阀泵、旋片泵、水环泵、油环泵等)串联使用。在前级泵进气口前面串联上罗茨真空泵组成机组可提高前级泵的真空度,在有效范围内可大大提高抽气速率。罗茨真空泵的极限压力由前级泵决定,表中数据为标准配置(配用双级油封式机械真空泵)时的最低极限压力。罗茨泵广泛使用于真空浇铸、真空熔炼、真空脱气、真空镀膜行业及化工医药行业的真空蒸馏、真空干燥等。泵对小量灰尘不敏感。
我公司罗茨真空泵经过多年不断改进,有以下优点:
1、因转子采用高精度专用数控机床加工,并作精细平衡校验,具备良好的几何对称性,转子啮合间隙均匀。泵体、侧盖采用专用机床加工,精度高。因此本公司罗茨真空泵运转平稳、噪声低、振小、极限真空度高。
2、因泵的传动部件采用可靠的消隙结构,故泵可高压差下长期工作。
3、起动快,能在短时间内达到极限真空。
4、因泵腔内无互相滑动的零件,无需用油润滑,避免了油蒸汽对系统的污染。
5、安全可靠,ZJP系列本身配带溢流阀起自动保护作用。
6、结构紧凑,占地面积小。左、右、下面三个排气口可以任选一个,方便用户安装。
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